高精度直線度測量儀

發(fā)布時間：2023-02-14

該系統(tǒng)利用花崗石平板相互垂直的兩個平面，作為高精度氣浮區(qū)。真空吸附滑塊在相互垂直的高精度氣浮區(qū)做無摩擦的高精度直線運動。

本機直線度優(yōu)于0.5微米/800毫米。當環(huán)境條件(溫度、濕度、震動、氣源)理想狀態(tài)下，直線度會更高。

測量結(jié)果，測量范圍可根據(jù)用戶需求制作，具有可轉(zhuǎn)方向、可微調(diào)的測量表夾持桿，可加持杠桿千分表、數(shù)顯表、電感測頭等。

產(chǎn)品參數(shù)：

序號	型號	有效行程	平臺規(guī)格（mm）	備注
1	ZXC1	1米	16001000200	含千斤頂、滑塊、立柱、精密過濾器、TESA電感測微儀及軸向測頭TT10 GT21-1.
2	ZXC2	2米	25001600300
3	ZXC3	3米	35001600300
4	ZXC4	4米	45001600400

序號	型號	有效行程	平臺規(guī)格（mm）	備注
1	ZXC1J	1米	1600500200	含千斤頂、滑塊、立柱、精密過濾器、TESA電感測微儀及軸向測頭TT10 GT21-1.
2	ZXC2J	2米	2500600300
3	ZXC3J	3米	3500800300
4	ZXC4J	4米	4500800400

前哨產(chǎn)品：

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