三坐標(biāo)測(cè)量儀氣浮軸承的性能要求

三坐標(biāo)測(cè)量儀的導(dǎo)軌是保證機(jī)器平穩(wěn)、高精度運(yùn)動(dòng)的關(guān)鍵，目前主要采用氣浮導(dǎo)軌及直線滾珠導(dǎo)軌兩種形式。

氣浮導(dǎo)軌的核心是氣浮軸承（空氣軸承），利用氣浮軸承小孔節(jié)流形成氣腔內(nèi)的高壓，在導(dǎo)軌和氣浮軸承間形成具有一定承載能力和剛性的薄膜。氣浮導(dǎo)軌具有無摩擦及無磨損的特性，由于均差效應(yīng)，運(yùn)動(dòng)的局部直線度及直角擺動(dòng)較小。精度較高的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般都采用氣浮導(dǎo)軌。

氣浮軸承的性能四個(gè)要求：即承載能力、承載剛性（氣浮間隙每變化一微米承載能力的變化）、耗氣量、抗氣振能力。其他的要求還包括防銹性能、安裝的工藝性，支承等的載荷設(shè)計(jì)亦不能忽略。對(duì)超高精度測(cè)量機(jī)，氣浮間隙及氣腔壓力的穩(wěn)定至關(guān)重要，超高精度測(cè)量機(jī)往往設(shè)置氣浮軸承壓力檢查引出孔。

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