三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度判定標(biāo)準(zhǔn)

三坐標(biāo)技術(shù)近年發(fā)展迅速，然后在這樣的科技高速發(fā)展的條件下，必然出現(xiàn)一些不如意的測(cè)量產(chǎn)品。對(duì)于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這種高精度的測(cè)量儀器，精準(zhǔn)度就是判斷其好壞的最基本因素。如何評(píng)定三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)是否合格呢？下面是關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)提供參考。

    三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)：ISO 10360

   1994年，ISO 10360 國際標(biāo)準(zhǔn)《坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收、檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)》開始實(shí)施。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)說明了坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能檢測(cè)的基本步驟。中國目前實(shí)行的測(cè)量機(jī)國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16857.2-1997 《坐標(biāo)計(jì)量學(xué)-第二部分：坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的性能測(cè)定》便等同于ISO 相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)。

   ISO 10360在主標(biāo)題“產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) –坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)”下，共分以下六個(gè)部分

    — 第1部分：詞匯;

    — 第2部分：測(cè)量線性尺寸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī);

    — 第3部分：配置轉(zhuǎn)臺(tái)軸線為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī);

    — 第4部分：掃描測(cè)量型坐標(biāo)測(cè)量機(jī);

    — 第5部分：多探針探測(cè)系統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量機(jī);

    — 第6部分：計(jì)算高斯輔助要素的誤差評(píng)定。

   ISO 標(biāo)準(zhǔn)主要包含三個(gè)主要參數(shù)：長度測(cè)量最大允許示值誤差(MPEE)、最大允許探測(cè)誤差(MPEP);對(duì)于掃描測(cè)量，采用最大允許掃描探測(cè)誤差(MPETHP) 。

    在進(jìn)行測(cè)量機(jī)的采購之前，用戶需要熟悉有關(guān)測(cè)量機(jī)的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。以下是關(guān)于ISO 10360的簡要介紹：

ISO 10360-1 (2000) “詞匯”

    該標(biāo)準(zhǔn)的第一部分定義了所有與坐標(biāo)測(cè)量機(jī)相關(guān)的詞匯定義。例如："探測(cè)系統(tǒng)" 或"標(biāo)準(zhǔn)球"，在這兒，我們就不再細(xì)述。

   ISO 10360-2 (2001) “測(cè)量線性尺寸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)”(MPEE)和最大允許探測(cè)誤差(MPEP)。

長度測(cè)量最大允許示值誤差MPEE：

    在測(cè)量空間的任意7種不同的方位，測(cè)量一組5種尺寸的量塊，每種量塊長度分別測(cè)量3次所有測(cè)量結(jié)果必須在規(guī)定的MPEE 值范圍內(nèi)。

    最大允許探測(cè)誤差(MPEP)：

   25點(diǎn)測(cè)量精密標(biāo)準(zhǔn)球，探測(cè)點(diǎn)分布均勻。最大允許探測(cè)誤差MPEP 值為所有測(cè)量半徑的最大值。

   ISO 10360-3 (2000) “配置轉(zhuǎn)臺(tái)軸線為第四軸的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)”

    對(duì)于配備了轉(zhuǎn)臺(tái)的測(cè)量機(jī)來說，測(cè)量機(jī)的測(cè)量誤差在這部分進(jìn)行了定義。主要包含三個(gè)指標(biāo)：徑向四軸誤差(FR)、切向四軸誤差(FT)、軸向四軸誤差(FA)。

   ISO 10360-4 (2003) “掃描測(cè)量型坐標(biāo)測(cè)量機(jī)”

    這個(gè)部分適用于具有連續(xù)掃描功能的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。它描述了在掃描模式下的測(cè)量誤差。

    大多數(shù)測(cè)量機(jī)制造商定義了"在THP 情況下的空間掃描探測(cè)誤差"。在THP 之外，標(biāo)準(zhǔn)還定義了在THN、TLP 和TLN 情況下的掃描探測(cè)誤差。

    最大允許掃描探測(cè)誤差(MPETHP)：

    沿標(biāo)準(zhǔn)球上4條確定的路徑進(jìn)行掃描。最大允許掃描探測(cè)誤差MPETHP 值為所有掃描半徑的最大差值。

    注：THP 的說明必須包括總的測(cè)量時(shí)間，例如：THP = 1.5um (掃描時(shí)間是72 秒)THP 說明了沿已知路徑在密度最大的點(diǎn)上的掃描特性。ISO 10360-4 進(jìn)一步說明了：TLP: 沿已知路徑，以低密度點(diǎn)的方式掃描。THN:沿未知路徑，以高密度點(diǎn)的方式掃描。TLN: 沿未知路徑，以低密度點(diǎn)的方式掃描。